| 设备参数 | 设备型号 | HS-FOCD-XXX |
| 运动轴数 | 13轴 |
| 电源 | AC 220V 50/60Hz 1000W两相电 |
| 气压源 | 0.5-0.7MPa压缩空气，-90kPa |
| 设备重量 | 450kg |
| 设备尺寸（不含信号灯） | 1500*900*1700（宽-深-高，单位mm） |
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| 系统组成 | 耦合系统 | 3维高精度直线电机+3维角度滑台 |
| 夹持系统 | 真空吸附 |
| 电流源(选配) | 电压/电流分辨率：1mV/1mA 电压/电流范围：0-70V/0-10A 控制方式：程控 |
| UV固化 | 波长：365nm 照射头数：2
光强：≥1000mw/cm2 |
| 点胶机 | 气动点胶机，点胶重复精度：±0.01% |
| 视觉系统 | 侧视视觉 |
| 光斑分析仪（选配） | 狭缝式光束分析仪，覆盖400-2700nm |
| 积分球 | 8或12英寸积分球，最大支持100W输入功率 |
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| 主要运动平台参数 | 耦合系统 | X轴 | Y轴 | Z轴 | θXθYθZ |
| 行程 | >500 | 70 | 70 | ±4° |
重复定位精度
（耦合区域） | ±0.1um | ±0.005° |
| 驱动方式 | 直线电机驱动光栅尺闭环反馈 | 步进电机 |
| 说明：设备技术参数依据具体客户需求可能会有改变，上述参数仅供参考 |