| 设备功能：实现对PBS，大反等镜子的的自动化拾取、识别、光斑耦合、点胶及UV固化。 |
| 技术特点： |
| ✦耦合部分采用3维高速、高精度直线电机滑台，运动速度可达300mm/s，重复定位精度可达±0.2um。 |
| ✦角度旋转轴重复定位精度为±0.005°。 |
| ✦为实现光路位置精确耦合，采用高斯拟合算法得到精准的光斑中心位置，引导实现光路耦合，实验表明拟合精度可以达到微米级，耦合精度可以控制在0.05°以内。 |
| ✦同时支持反向通光聚焦镜-反光棱镜-PBS同时耦合工艺。 |
| ✦料盘可放置多个工件，实现全自动生产，生产效率高。 |